名稱：終端單元。
電源電壓：DC24V。
輔助輸出：晶體管輸出2點（吸收）。
通信功能：端口A或端口B RS-485；連接器端口A。
端子：可拆卸連接器。
控制柜內安裝型溫控器，靈活的模塊化設計，
與上位機的整合性大大提高E3ZM-D87。
小型模塊式結構使溫度系統的構造最適合于應用。
無須編程就可與可編程控制器進行連接，
減少了梯形圖程序設計所需的步數E3ZM-D87
支持全部溫度輸入信號包括熱電偶、鉑電阻和模擬量輸入，
便于選擇并減少了庫存要求。
直接連接至G3ZA多通道電力調整器，獲取最佳周期控制，
追求高精度調節和低噪聲。
使用自動調諧(AT)功能，
可以實現獨立的PID加熱/冷卻控制。放大器分離接近傳感器可簡單設定高精度的靈敏度E3ZM-D87。
可根據用途選擇傳感器探頭種類，傳感器前置放大器-放大 器之間采用耐彎曲電纜。
不易受環境溫度影響，溫度特性為0.08%/°C （φ5.4型）。
可簡單、確實檢測設定微米級精度（示教功能）。
可確認檢測余量（數字顯示）。
高精度的定位、支持甄別檢查、變化量最大化“FP （Fine Positioning）功能”。
也備有適用于EtherCAT傳感器通信單元/CompoNet通信單元的E2C-EDA0型號。外徑φ40 通用型。
增量型。
外徑：φ40。
分辨率（最大）：2000P/R。
電源電壓：DC5～12V。
輸出形式： 電壓輸出。
分辨率（脈沖/旋轉）1：10P/R、200P/R、300P/R、360P/R、400P/RE3ZM-D87。
分辨率（脈沖/旋轉）3：500P/R、600P/R、1000P/R。
分辨率（脈沖/旋轉）4：1024P/R、1200P/R、1500P/R、1800P/R、2000P/R。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出1點型（電源AC100～240V用）。
外殼顏色：銀色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：3點。
加熱器用斷線、SSR故障、加熱器過電流檢測功能/ES1B用電源：單相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：RS-232C。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能/性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升。
增加PV/SV狀態顯示功能，方便查看溫控控器的狀態
（自動/手動、RUN/STOP、報警發生），可交互顯示PV/SSVE3ZM-D87使用說明書E3ZM-D87使用說明書。
增加控制輸出ON/OFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當前值/目標值/操作量。
增加了PF鍵，分配自動/手動、RUN/STOP等，可實現一鍵操作。